84.56 - °¢Á¾ Àç·áÀÇ °¡°ø °øÀÛ±â°è[·¹ÀÌÀú³ª ±× ¹ÛÀÇ ±¤¼±¡¤±¤ÀÚºö¡¤ÃÊÀ½ÆÄ¡¤¹æÀü¡¤Àü±âÈÇС¤ÀüÀÚºö¡¤À̿ºö¡¤ÇöóÁ¾ÆÅ©(plasma arc) ¹æ½ÄÀ¸·Î Àç·áÀÇ ÀϺθ¦ Á¦°ÅÇÏ¿© °¡°øÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù]¿Í ¿öÅÍÁ¦Æ® Àý´Ü±â
ÀÌ È£ÀÇ °øÀÛ±â°è´Â °¢Á¾ Àç·áÀÇ ¼ºÇüÀ̳ª Ç¥¸é°¡°ø¿ëÀÇ ±â°èÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â ¹Ýµå½Ã ´ÙÀ½°ú °°Àº ¼¼ °¡Áö ±âº»ÀûÀÎ Á¶°ÇÀ» °®Ãß¾î¾ß¸¸ ÇÑ´Ù.(¥¡) ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â Àç·á¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î °¡°øÇÏ¿©¾ß Çϸç; (¥¢) ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â ±âÁ¸ÀÇ °ø±¸(conventional tool)¸¦ °®Ãá °øÀÛ±â°è¿¡¼ ¼öÇàµÇ¾îÁö´Â Á¾·ù·Î °øÁ¤ÀÌ ¼öÇàµÇ´Â °ÍÀ̾î¾ß Çϸç; (¥£) ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°è´Â ´ÙÀ½ÀÇ 7°¡Áö °øÁ¤ ÁßÀÇ Çϳª¸¦ »ç¿ëÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù : ·¹ÀÌÀú³ª ±× ¹ÛÀÇ ±¤¼±¡¤±¤ÀÚºö¡¤ÃÊÀ½ÆÄ¡¤¹æÀü¡¤Àü±âÈÇС¤ÀüÀÚºö¡¤À̿ºöÀ̳ª ÇöóÁ¾ÆÅ©(plasma arc) ¹æ½Ä ÀÌ È£´Â ¶ÇÇÑ ¾Æ·¡ÀÇ (H)¿¡¼ ±â¼úÇÏ°í ÀÖ´Â ¿öÅÍÁ¦Æ®Àý´Ü±â(water-jet cutting machine)¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ±×·¯³ª, ÀÌ È£¿¡¼´Â Á¦8486È£¿¡ ±ÔÁ¤ÇÏ°í ÀÖ´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº Á¾·ùÀÇ ±â°è´Â Á¦¿ÜÇÑ´Ù.(¥¡) Àç·á¸¦ Àý»è °¡°øÇÏ´Â ±â°è·Î¼ ¹ÝµµÃ¼ º¸¿ï(boule)À̳ª ¿þÀÌÆÛ(wafer)¡¤¹ÝµµÃ¼µð¹ÙÀ̽º¡¤ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î³ª ÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ Á¦Á¶¿¡ Àü¿ëµÇ°Å³ª ÁÖ·Î »ç¿ëÇÏ´Â Á¾·ùÀÇ °Í (¥¢) Àç·á¸¦ Àý»è °¡°øÇÏ´Â ±â°è·Î¼ ¸¶½ºÅ©¿Í ·¹Æ¼Å¬(reticle)ÀÇ Á¦Á¶³ª ¼ö¸®¿¡ Àü¿ëµÇ°Å³ª ÁÖ·Î »ç¿ëÇÏ´Â Á¾·ùÀÇ °Í (¥£) ¹ÝµµÃ¼ Àç·á »óÀÇ °Ç½Ä ½Ä°¢ ÆÐÅÏ¿ë(dry-etching pattern) ±â°è ¾Õ¿¡¼ ¼³¸íÇÑ ±â°èÀÇ ¿¹·Î´Â (¥¡) ¹ÝµµÃ¼ °áÁ¤¿¡ ±¸¸ÛÀ» ¶Õ´Â ·¹ÀÌÀúºö ±â°è·ù¿Í (¥¢) ¹ÝµµÃ¼Ä¨À» ÀÚ¸£°Å³ª ÀüÀÚÁýÀûȸ·Î¿ë ¼¼¶ó¹Í ±âÆÇÀ» ÀÚ¸£°Å³ª ±¸¸ÛÀ» ¶Õ´Â ÃÊÀ½ÆÄ Ã³¸® ±â°è·ù°¡ ÀÖ´Ù. (A) ·¹ÀÌÀú³ª ±× ¹ÛÀÇ ±¤¼±¡¤±¤ÀÚºö ¹æ½ÄÀ¸·Î ÇÏ´Â °¡°ø°øÀÛ±â°è ·¹ÀÌÀú ºö °¡°ø±â°è(±¤ÀÚ°¡°ø±â°è)´Â ±¤ÀÚ°¡ Àִ ǥÀû¿¡ ÀÔÀÚ·Î Ãæ°ÝÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î ±¸¼ºµÈ´Ù. ÀÌ ±×·ì¿¡´Â ƯÈ÷ õ°ø¿ë(½Ã°è¿ë µîÀÇ ±Ý¼Ó¡¤·çºñ)ÀÇ ±â°è¡¤±Ý¼ÓÀ̳ª ´Ü´ÜÇÑ ¹°ÁúÀÇ Àý´Ü¿ë ±â°è¿Í ¿©·¯ °¡Áö °íÀúÇ× Àç·á À§¿¡ »õ±â´Â(¼ýÀÚ¡¤¹®ÀÚ¡¤¼± µî) ±â°è¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ·¹ÀÌÀú ¹æ½ÄÀ¸·Î ÀÛµ¿µÇ´Â °øÀÛ±â°èÀÇ º»ÁúÀûÀÎ Ãø¸éÀº ¿ëÀ¶¡¤¿¬¼Ò³ª Áõ¹ßÀÛ¿ëÀ» ÅëÇØ Àç·á¸¦ Á¦°Å["À¶Á¦(ë×ð¥ : ablation)"¶ó°íµµ ÇÑ´Ù]ÇÏ´Â °ÍÀε¥, ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ½ÄÀº ÀÛ¾÷´ë»ó¹°¿¡ ÇâÇÏ¿© ÃÊÁ¡ÀÌ ¸ÂÃß¾îÁø °·ÄÇÑ ·¹ÀÌÀú ºöÀ¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÇüÅÂÀÇ ¾î¶² °øÀÛ±â°è¿¡¼´Â, ·¹ÀÌÀú ºöÀÌ Àú¾Ð ¿öÅÍÁ¦Æ®¿Í ÇÑ ½ÖÀ» ÀÌ·ç´Â °æ¿ì°¡ Àִµ¥, ÀÌ ¿öÅÍÁ¦Æ®´Â ·¹ÀÌÀú ºöÀ» ¾È³»ÇÏ°í ºÎ½º·¯±â¸¦ Á¦°ÅÇϸç Àç·á¸¦ ³Ã°¢ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ÀÌ ±×·ìÀÇ ¶Ç ´Ù¸¥ °øÀÛ±â°è´Â Àç·áÀÇ Á¦°Å¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ºöÀÇ ÇüÅ¿¡ µû¶ó ·¹ÀÌÀú ºö °øÁ¤À¸·Î ÀÛµ¿µÇ´Â °øÀÛ±â°è¿Í Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ´Ù. (B) ÃÊÀ½ÆÄ ¹æ½ÄÀ¸·Î ÇÏ´Â °¡°ø°øÀÛ±â°è ÃÊÀ½ÆÄ °¡°ø±â°è(ultrasonic machine-tools)´Â ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿¿¡ ÀÇÇÏ¿© Áøµ¿ÇÏ´Â ÆÝÄ¡(punch)¿Í ¾×ü Áß¿¡ ºÎÀ¯ÇÏ´Â ¿¬¸¶Á¦·Î ÀÌ·ç¾îÁø´Ù. ÀÌµé ±â°è´Â ¿¬¸¶Àç ¼øȯÀåÄ¡°¡ °áÇյǴ °æ¿ìµµ ÀÖ´Ù. ÀÌ ±×·ì¿¡´Â ƯÈ÷ ´ÙÀ½°ú °°Àº ¿ëµµ¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â °øÀÛ±â°è¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. (1) ´ÙÀ̾Ƹóµå ´ÙÀÌ(die)³ª ±Ý¼Óźȹ°·Î ¸¸µç ´ÙÀÌ °¡°ø¿ë; (2) ±¤¼®ÀÇ Ãµ°øÀ̳ª ¼ºÇü¿ë; (3) À¯¸®¿¡ À½°¢À» »õ±â´Â(engraving) ¿ëµµ·Î »ç¿ë; (4) ¹Ð¸µ(milling)¿ë¡¤ºê·ÎĪ(broaching)À̳ª Æú¸®½Ì(polishing)¿ë (C) ¹æÀü ¹æ½ÄÀ¸·Î ÇÏ´Â °¡°ø°øÀÛ±â°è ÀÌ·¯ÇÑ ÇüÅÂÀÇ ±â°è°¡°ø ¿ø¸®´Â µÎ °³ÀÇ ±Ý¼Ó¼º Àü±Ø(°¡°ø¹°°ú °ø±¸) »çÀÌ¿¡¼ ¸Å ÃÊ´ç ¼ö½Ê¸¸ »çÀÌŬ·Î ¾ÆÁÖ ÂªÀº ¼ø°£ÀÇ ±Þ ¹æÀü¿¡ ÀÇÇÏ¿© ±Ý¼ÓÀÌ Á¦°ÅµÇ´Â Çö»óÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±×·ì¿¡´Â, ¿¹¸¦ µé¸é, °íÁÖÆÄÀü±â¹æÀü Àý´Ü±â°è¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. (D) Àü±âÈÇÐ ¹æ½ÄÀ¸·Î ÇÏ´Â °¡°ø°øÀÛ±â°è ÀÌ·¯ÇÑ ÇüÅÂÀÇ ±â°è°¡°ø¿ø¸®´Â Àü±âºÐÇØ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ±Ý¼ÓÀÌ Á¦°ÅµÇ´Â Çö»óÀÌ´Ù. °¡°ø¹°(¾ç±Ø)¿¡ Àü·ù¸¦ È帣°Ô ÇÏ°í ¶È°°ÀÌ °ø±¸(À½±Ø)¿¡µµ Àü·ù¸¦ È帣°Ô ÇÑ´Ù. ÀÌ ¾ç±ØÀ» À½±Ø¼º ħÀüÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ ÀüÇع° ¼Ó¿¡ Àá±âµµ·Ï Çϸé ÀÌ·Î ÀÎÇÏ¿© ¾ç±ØºÐÇØÀÇ Çö»óÀÌ ÀϾÙ. ÀÌ ±×·ì¿¡´Â ´ÙÀ½ÀÇ °ÍÀ» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. (1) ÀüÇØ¿¬¸¶±â±â : Çö¹Ì°æÀ̳ª ±Ý¼Ó½ÃÇè¿ëÀÇ ½Ã·á ¿¬¸¶¿ë¿¡ »ç¿ëÇÑ´Ù. (2) ÀüÇØÀý»è±â(Àý»è¡¤Àý´Ü °ø±¸¿ëÀÇ °Í) : Ĩºê·¹ÀÌÄ¿ ±×·çºê(chip-breaker groove)ÀÇ Àý´Ü¿ëÀ̳ª ±Ý¼Óźȹ° ÆÇÀÇ Àý´Ü¿ëÀÇ °ÍÀ¸·Î; ÀÌ·¯ÇÑ ±â°è´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå ÈÙÀ» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù. (3) ¾ç±ØºÐÇØ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¿©·¯ °¡Áö Á¾·ùÀÇ Åé´Ï¹ÙÄûÀÇ ¹ö(burr)¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â ±â°è (4) Æò¸é µîÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô ¿Ï¼º°¡°øÇÏ´Â ±â°è (E) ÀüÀÚºö ¹æ½ÄÀ¸·Î ÇÏ´Â °¡°ø°øÀÛ±â°è ÀüÀÚºö ±â°è°¡°øÀº ±ØÈ÷ ÀÛÀº Ç¥¸é À§ÀÇ °¡°ø¹°¿¡ ÀüÀÚ¸¦ ½îÀÌ´Â °ÍÀε¥, ÀÌ ÀüÀÚ´Â À½±Ø(cathode)¿¡ ÀÇÇÏ¿© ¹æ»ç(Û¯ÞÒ)µÇ°í(emitted), °·ÄÇÑ Àü°è(ï³Í£ : electrical field)¿¡ ÀÇÇÏ¿© °¡¼ÓµÇ¸ç, ÀÚ±â(í¸Ñ¨)·»Á Á¤Àü(ð¡ï³)·»ÁîÀÇ ÀåÄ¡¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÁýÁߵȴÙ. (F) À̿ºö ¹æ½ÄÀ¸·Î ÇÏ´Â °¡°ø°øÀÛ±â°è ÀÌ·¯ÇÑ °øÀÛ±â°èÀÇ ºö(beam)Àº ·¹ÀÌÀú ºöÀÇ °æ¿ì¿¡¼¿Í °°ÀÌ ÀÓÆÞ½º(impulse)¿¡ ÀÇÇÑ °ÍÀÌ ¾Æ´Ï°í ¿¬¼Óµ¿ÀÛ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÀÛ¾÷À» ÇÑ´Ù. (G) ÇöóÁ¾ÆÅ©(plasma arc) ¹æ½ÄÀ¸·Î ÇÏ´Â °¡°ø°øÀÛ±â°è ÇöóÁ¾ÆÅ©(plasma arc) °¡°ø±â°è´Â °íÀå·Â »óÅ¿¡¼ ÀÚ±â Ãæ°Ý(impulse) ¹ß»ý±â·Î ¹ß»ý½ÃŲ Àü·ù¿¡ ÀÇÇÏ¿© °·ÄÇÑ ÀÌ¿ÂÈ(intense ionisation)°¡ ÀϾÙ. ÀÌ°ÍÀº ÃÊ°í¼ÓÀ¸·Î ÆÇÀ» Àý´ÜÇÏ°í, °ÅÄ¥°Ô ÀÚ¸£¸ç, °ÅÄ£ ³ª»ç °¡°øÀ» Çϵµ·Ï ÇÑ´Ù. (H) ¿öÅÍÁ¦Æ® Àý´Ü±â(water-jet cutting machine) ÀÌ ±×·ì¿¡´Â ¼ö¾Ð(water-jet)À̳ª ¼ö¾Ð-¿¬¸¶Á¦È¥ÇÕ(water-abrasive jet) Àý´Ü±â¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. À̰͵éÀº ÀüÇüÀûÀ¸·Î À½¼ÓÀÇ µÎ ¹è¿¡¼ ¼¼ ¹è¿¡ À̸£´Â ¼Óµµ·Î ¹°À̳ª ¹Ì¼¼ÇÑ ¿¬¸¶Á¦¿Í È¥ÇÕµÈ ¼ö·ù(â©×µ)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °øÁ¤¿¡ ÀÇÇØ Àç·á¸¦ Àý´ÜÇϵµ·Ï °í¾ÈµÈ ±â°èµéÀÌ´Ù. ÀÌ ±â°èµéÀº 3,000 ¹ÙºÎÅÍ 4,000 ¹Ù±îÁöÀÇ ¾Ð·Â »óȲ¿¡¼ ÀÛµ¿ÇÏ¸ç ´Ù¾çÇÑ Àç·á¿¡ ´ëÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ÇüÅÂÀÇ Á¤¹Ð Àý´ÜÀ» ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿öÅÍÁ¦Æ® Àý´Ü±â´Â ÀüÇüÀûÀ¸·Î ¿¬Áú(æãòõ)Àç·á[¹ßÆ÷¹°¡¤¿¬Áú °í¹«¡¤°³½ºÅ¶(gasket) Àç·á¡¤¹Ú(ÚØ : foil) µî]¿¡ »ç¿ëÇÑ´Ù. ¿öÅÍ-¿¬¸¶Á¦ Á¦Æ® È¥ÇÕÀý´Ü±â´Â ÀüÇüÀûÀ¸·Î °æÁú(Ìãòõ)Àç·á[°ø±¸¿ë °(˼)¡¤°æÁú°í¹«¡¤º¹ÇÕ¹°¡¤µ¹¡¤À¯¸®¡¤¾Ë·ç¹Ì´½¡¤½ºÅ×Àθ®½º° µî]¿¡ »ç¿ëÇÑ´Ù. ºÎºÐÇ°°ú ºÎ¼ÓÇ° ºÎºÐÇ° ºÐ·ù¿¡ °üÇÑ ÀϹݱÔÁ¤(Á¦16ºÎ ÃѼ³ ÂüÁ¶)¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÀÌ È£ÀÇ ±â°è ºÎºÐÇ°°ú ºÎ¼ÓÇ°Àº Á¦8466È£¿¡ ºÐ·ùÇÑ´Ù. ÀÌ È£¿¡¼´Â ¶ÇÇÑ ´ÙÀ½ÀÇ °Íµµ Á¦¿ÜÇÑ´Ù.(a) ûÁ¤¿ëÀÇ ÃÊÀ½ÆÄ ±â±â(Á¦8479È£) (b) ¶«Áú¿ëÀ̳ª ¿ëÁ¢¿ë ±â±â(Àý´ÜÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÎÁö¿¡ »ó°ü¾ø´Ù)(Á¦8515È£) (c) ½ÃÇè¿ë ±â°è(Á¦9024È£)
|