[È£Çؼ³] ÀÌ È£¿¡´Â °ø±â ¶Ç´Â ±âŸÀÇ ±âü¸¦ ¾ÐÃàÇϰųª Áø°ø»óÅ·Π¸¸µé±â À§ÇÑ ¼öµ¿ ¶Ç´Â µ¿·Â±¸µ¿½ÄÀÇ ±â°è ¹× °ø±â ¶Ç´Â ±âŸÀÇ ±âü¸¦ ¼øȯ½ÃÅ°´Â ±â°è°¡ Æ÷ÇԵȴÙ. (A) ÆßÇÁ¿Í ±âü¾ÐÃà±â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ±âüÆßÇÁ¿Í ±âü¾ÐÃà±â´Â ÀüÈ£¿¡ °Ô±âÇÑ ¾×üÆßÇÁ(ÇǽºÅæ½Ä¡¤È¸Àü½Ä¡¤¿ø½É½Ä ¹× ÀÌÁ§ÅͽÄÆßÇÁ)¿Í °°Àº ¿ø¸®¿Í À¯»çÇÑ ±¸Á¶ÀÇ °ÍÀÌ ¸¹´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ·¯ÇÑ ¹°Ç°Áß¿¡´Â È®»êÆßÇÁ(À¯µ¿¼ºÀÇ ±â¸§ ¶Ç´Â ¼öÀºÀÇ È®»ê¿ë ÆßÇÁ)¡¤ºÐÀÚÆßÇÁ ¹× Entrapment pump(Getter pumps¡¤cryopumps)¿Í °°ÀÌ Æ¯º°È÷ Áø°øÀ» ¸¸µé±â À§ÇÑ Æ¯¼öÇüÀÇ °Íµµ ÀÖ´Ù. ±×·¸Áö¸¸ À¯¸®·Î ¸¸µç È®»ê ÆßÇÁ´Â °æ¿ì¿¡ µû¶ó Á¦¿ÜµÈ´Ù(Á¦70·ù). ±âü ¹× Áø°øÆßÇÁ´Â ¸¹Àº ¸ñÀû¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç, °¨¾ÐÇÏ¿¡¼ÀÇ ºñµî¡¤Áõ·ù ¶Ç´Â Áõ¹ß¿ë, Àü±¸¡¤Àüµî°ü¡¤Áø°øÇöó½ºÅ© µîÀÇ ¹è±â¿ë ¹× °ø±âÀÇ ¾Ð¼Û¿ë(äâáêéÄ)(¿¹ : °ø±â½ÄŸÀ̾îÀÇ ÆØâ¿ë)µîÀÇ ¿ëµµ°¡ ÀÖ´Ù. ¾×üÆßÇÁ¿Í´Â ´Þ¸® °ø±â ¶Ç´Â ±âŸ ±âü¾ÐÃà±â(Àú¾Ð¿ë ¶Ç´Â °£ÇæÀûÀ¸·Î ÀÛµ¿ÇÏ´Â ¾ÐÃà±â¸¦ Á¦¿ÜÇÑ´Ù)´Â ¼ö³Ã½ÄÀ¸·Î µÇ¾îÀְųª, ¶Ç´Â ¾ÐÃà½Ã¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â »ó´çÇÑ ¿À» ºÐ»ê½ÃÅ°±â À§ÇÑ °ø³Ã¿ë(Ç¥¸é³Ã°¢)ÀÇ Fin ¶Ç´Â ±âŸ ÀåÄ¡¸¦ °®Ãß°í ÀÖ´Ù. ¿©±â¿¡´Â ¿©·¯ ÇüÀÇ ¾ÐÃà±â°¡ Àִµ¥, ¿¹¸¦ µé¸é, ¿Õº¹ ÇǽºÅæ½Ä¡¤¿ø½É½Ä¡¤Ãà·ù½Ä ¹× ȸÀü½ÄÀÇ ¾ÐÃà±â°¡ ÀÖ´Ù. Ư¼öÇüÅÂÀÇ ¾ÐÃà±â¿¡´Â Ãâ·ÂÀ» Áõ´ë½ÃÅ°±â À§ÇÏ¿© ³»ºÎ¿¬¼Ò ÇǽºÅæ ¿£Áø¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹è±â°¡½º Åͺó°ú±Þ±â°¡ ÀÖ´Ù. ±âü¾ÐÃà±â´Â ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô »ç¿ëµÈ´Ù. Áï ¾ÐÃà°¡½ºÃæÀü¿ë½Ç¸°´õÀÇ °¡½º¾ÐÀÔ¿ë(äâìýéÄ)¡¤ÈÇйÝÀÀ°øÁ¤¿ë¡¤³ÃÀå°í¿ë µî¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç, ÀúÀå±â¿¡ ¾ÐÃàµÈ °ø±â ¶Ç´Â °¡½º´Â ¾ÐÃà°ø±â½Ä¿øµ¿±â¿Í Âø¾Ï±â¡¤±Ç¾ç±â¡¤ºê·¹ÀÌÅ©¡¤°ø±â½Ä ¼ö¼Û°ü ¹× Àá¼öÇÔÀÇ ¹è¼öÅÊÅ© µîÀÇ ±â°è ¶Ç´Â ÀåÄ¡¿¡ »ç¿ëÇϱâ À§ÇÏ¿© °ø±ÞµÈ´Ù. ¤· ¤·¤· ÀÌ È£¿¡´Â ¶ÇÇÑ °¡½ºÅͺó¿ë Èĸ® ÇǽºÅæ½Ä Á¦³Ê·¹ÀÌÅÍ°¡ Æ÷ÇԵǸç, ÀÌ°ÍÀº µ¿ÀϽǸ°´õ°£À» È°µ¿ÇÏ´Â ¼öÆòÀ¸·Î ´ëÇâÇÑ 2°³ÀÇ ±¸µ¿ÇǽºÅæÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ°í, ½Ç¸°´õÀÇ ¾ç´ÜÀº ¾ÐÃà½Ç¸°´õ¸¦ Çü¼ºÇϱ⠶§¹®¿¡ ¿·À¸·Î ±æ°Ô È®´ëµÇ¾î ÀÖ´Ù. ±× ½Ç¸°´õ ¼ÓÀ» ±¸µ¿ÇǽºÅæ¿¡ Á÷°áµÈ 2°³ÀÇ ´Ù¸¥ ÇǽºÅæÀÌ È°µ¿(üÁÔÑ)ÇÏ¸é¼ °ø±âÀÇ ¹Ýµ¿(¿¡¾îÄí¼Ç)À» Çü¼ºÇÑ´Ù. ÇǽºÅæÀº Á¡ÈµÈ °¡½ºÀÇ Æø¹ß¿¡ ÀÇÇÏ¿© Á¿ì·Î ¶³¾îÁö¸ç, ±× °á°ú ¾ÐÃàÇǽºÅæµµ À̵¿ÇÑ´Ù. ¾ÐÃà½Ç¸°´õ³»¿¡ µé¾î°£ °ø±â´Â ¾ÐÃàÇǽºÅæÀÇ º¹±ÍÇàÁ¤À¸·Î ¾ÐÃàµÇ¾î ¹è±â°¡½º¿Í ÇÔ²² ¹è±â¹ëºê¸¦ ÅëÇÏ¿© ¹ÛÀ¸·Î ¾ÐÃâµÈ´Ù. °¡¿µÈ °¡½ºÀÇ ³ôÀº ¾Ð·ÂÀÌ °¡½º ÅͺóÀÇ ·ÎŸ¿¡ Á÷Á¢ ÀÛ¿ëÇÏ¿© ±× °á°ú ÀÌÁ¦³Ê·¹ÀÌÅÍ´Â °¡½ºÅͺóÀÇ ¿¬¼Ò½Ç°ú ¾ÐÃà±âÀÇ ¿ªÇÒÀ» ´ë½ÅÇÏ°Ô µÈ´Ù. Á¦8413È£ÀÇ ÆßÇÁÀÇ °æ¿ì¿¡¼¿Í °°ÀÌ ÀÌ ±×·ì¿¡ ÇØ´çµÇ´Â ¿¡¾îÆßÇÁ ¹× ¾ÐÃà±â´Â ¸ðÅÍ ¶Ç´Â ÅͺóÀÌ ÀÏü±¸Á¶·Î µÇ¾îÀÖ´Â °æ¿ìµµ ÀÖÀ¸¸ç, ÈÄÀÚ´Â ÁÖ·Î ´Ù´Ü½Ä °¡½ºÅͺóÀÇ ¿ª¿ø¸®·Î ÀÛµ¿ÇÏ´Â °í¾Ð¾ÐÃà±â·Î »ç¿ëµÈ´Ù. (B) ÆÒ À̵éÀÇ ±â°è´Â ¿øµ¿±â¿Í ÀÏü·Î °áÇÕµÈ °Íµµ ÀÖ°í ºÐ¸®µÈ °Íµµ ÀÖÀ¸³ª ºñ±³Àû Àú¾ÐÇÏ¿¡¼ ´Ù·®ÀÇ °ø±â ¶Ç´Â ±âŸÀÇ °¡½º¸¦ ¾Ð¼Û(äâáê)Çϰųª ÁÖÀ§ÀÇ °ø±â¿¡ ¿òÁ÷ÀÓÀ» ¹ß»ý½ÃÅ°µµ·Ï ¼³°èµÇ¾î ÀÖ´Ù. ù° Çü½ÄÀÇ °ÍÀº ¹è±â¿ë±â°è ¶Ç´Â ¼Ûdz±â(¿¹ : dzµ¿(ù¦Ô×)¿¡ »ç¿ëµÇ´Â »ê¾÷¿ë ¼Ûdz±â)·Î½á ÀÛ¿ëÇÑ´Ù. À̵éÀº µ¿Ã¼(ÔÜô÷)¿Í µµ°ü³»¿¡¼ ȸÀüÇÏ´Â ÇÁ·ÎÆç·¯ ¶Ç´Â ºí·¹À̵åÇüÀÇ ÀÓÆç·¯·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ°í ȸÀü½Ä ¶Ç´Â ¿ø½É½Ä¾ÐÃà±âÀÇ ¿ø¸®·Î ÀÛµ¿ÇÑ´Ù. µÎ¹ø° Çü½ÄÀÇ °ÍÀº °£´ÜÇÑ ±¸Á¶¸¦ °®°í ÀÖÀ¸¸ç, ´Ü¼øÈ÷ ´ë±âÁß¿¡¼ ȸÀüÇÏ´Â ±¸µ¿½Ä ÆÒ¸¸À¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ´Ù. ÆÒÀº ±¤»ê¡¤°¡¿Á¡¤»çÀϷΡ¤¼±¹ÚÀÇ È¯±â¿ë, ¸ÕÁö¡¤Áõ±â¡¤¿¬±â¡¤¿°¡½ºµîÀÇ ÈíÀÔ½ÄÀÇ ¹è±â¿ë, °¢Á¾Àç·á(ÇÇÇõ¡¤Á¾ÀÌ¡¤Á÷¹°¡¤µµ·áµî)ÀÇ °ÇÁ¶¿ë, dzµµ¿ë(ù¦Ô³éÄ) ¹× ·ÎÀÇ ¼ÛdzÀåÄ¡¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ÀÌ È£¿¡´Â ¶ÇÇÑ ½Ç³»¿ë ÆÒÀ» Æ÷ÇÔÇϸç, °æ»ç ¶Ç´Â Áøµ¿ ÀåÄ¡°¡ ÀÖ´ÂÁöÀÇ ¿©ºÎ¸¦ ºÒ¹®ÇÑ´Ù. À̵éÀº õÁ¤¿ëÆÒ, Ź»ó¿ëÆÒ, º®°ÉÀÌ¿ëÆÒ, º®¾È¿¡ °ÇÃàÇÒ¶§ ¸µ¸ð¾çÀ¸·Î ÀåÂøÇÑÆÒ, À©µµ¿ìÆóÀÎ µîÀ» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ¸ðÅÍ ¶Ç´Â ÇÏ¿ì¡¿¡ ´Ù¸¥ ±â±¸(´ëÇüÀÇ ¸ÕÁö ºÐ¸®¿ëÄÚ¿î ¹× ÇÊÅÍ¡¤³Ã°¢ ¶Ç´Â °¡¿Ã¼ ¹× ¿±³È¯±âµî)¸¦ °áÇÕ½ÃŲ ÆÒÀ¸·Î¼, ÀÌ·¯ÇÑ ±â±¸°¡ Ÿȣ¿¡ ºÐ·ùµÉ ¸¸Å º¹ÀâÇÑ ±â°èÀû Ư¼ºÀ» ºÎ¿©ÇÏ´Â °æ¿ì ±×·¯ÇÑ ÆÒÀº ÀÌ È£¿¡¼ Á¦¿ÜµÈ´Ù. ±× ¿¹¸¦ µé¸é ´ÙÀ½°ú °°´Ù. Àü±â°¡¿½ÄÀÌ ¾Æ´Ñ ¿¡¾îÈ÷ÀÌÅÍ(Á¦7322È£)¡¤°ø±âÁ¶Àý¿ë±â°è(Á¦8415È£)¡¤Á¦Áø±â(ð¶òÈѦ)(Á¦8421È£)¡¤Àç·á󸮿ëÀÇ ¿¡¾îÄð·¯(Á¦8419È£)¡¤°¡¿Á¿ëÀÇ ¿¡¾îÄð·¯(Á¦8479È£)¡¤ÆÒÀ» ³»ÀåÇÑ Àü±â½Ä ³¹æ±â±â(Á¦8516È£). (C) ÆÒÀ» °áÇÕÇÑ È¯±â¿ë ¶Ç´Â Àç¼øȯ¿ë Èĵå (ÇÊÅ͸¦ °®Ãß¾ú´ÂÁöÀÇ ¿©ºÎ¸¦ ºÒ¹®ÇÑ´Ù) ÀÌ ±×·ì¿¡¼ ÆÒÀ» °áÇÕÇÑ ¿ä¸®¿ë Èĵ带 Æ÷ÇÔÇϸç(À̵éÀº °¡Á¤ ¶Ç´Â À½½ÄÁ¡, ÄËƾ, º´¿øµî¿¡¼ »ç¿ëÇÑ´Ù), ÆÒÀ» °áÇÕÇÑ ÀÌÈÇпë ÈÄµå ¶Ç´Â »ê¾÷¿ëÈĵ嵵 Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ¤· ¤·¤· ´Ù¸¥ ±â°è¿Í ÇÔ²² »ç¿ëÇϵµ·Ï Ưº°ÇÑ ±¸Á¶·Î µÇ¾îÀÖ´Â ±âü¾ÐÃà±â¡¤±âüÆßÇÁ¡¤ÆÒ¡¤¼Ûdz±â µîÀº ´çÇرâ°èÀÇ ¿¹ºñºÎºÐÇ°À¸·Î ºÐ·ùµÇÁö ¾Ê°í ÀÌ È£¿¡ ºÐ·ùµÈ´Ù. ºÎºÐÇ° ºÎºÐÇ°ÀÇ ºÐ·ù¿¡ °üÇÑ ÀϹݱÔÁ¤(Á¦16ºÎ ÁÖ ÃѼ³À» ÂüÁ¶)¿¡ ÀÇÇÏ¿©, ÀÌ È£¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ±â°èÀÇ ºÎºÐÇ°Àº ¿ª½Ã ÀÌ È£¿¡ ºÐ·ùµÈ´Ù(¿¹ : ÆßÇÁ ¶Ç´Â ¾ÐÃà±âÀÇ º¸µð¡¤ºí·¹À̵塤·ÎÅÍ ¶Ç´Â ÀÓÆç·¯¡¤º£ÀÎ ¹× ÇǽºÅæ). ¤· ¤·¤· ÀÌ È£¿¡¼µµ ¶ÇÇÑ ´ÙÀ½ÀÇ °ÍÀ» Á¦¿ÜÇÑ´Ù. (a) ¹è±â°¡½º Åͺó(Á¦8411È£) (b) ¿¡¸ÖÁÔ ÆßÇÁ(Emulsion Pumps)(Á¦8413È£) (c) °ø±â ÀÛµ¿½Ä ¿¤¸®º£ÀÌÅÍ ¹× ÄÁº£À̾î(Á¦8428È£) (d) Á¾ÀÚ¡¤°î¹° ¶Ç´Â °ÇÁ¶ÇÑ Ã¤µÎ·ù(óøÔç×¾)ÀÇ ¼¼Á¤¡¤ºÐ·ù ¶Ç´Â ¼±º°¿ëÀÇ ±â°è(Á¦8437È£)
|