전에 문의 드렸는데 물품 설명이 부족하다고 하셔서 다시 올립니다. 물품명은 IGZO TARGET입니다. TFT 박막제조시에 사용되는 것으로 품목분류 결정사례의 ITO TARGET과 동일 용도와 비슷한 물품으로서 구성성분이 조금 다른 신소재의 반도체 금속산화물입니다. ITO TARGET과 같은 세번인 3824.90-9090으로 가도 되는지 여부가 궁금합니다. 아니라면 어느쪽인지 바쁘시겠지만 부탁드립니다.
□ IGZO 란? IGZO 은 Indium 과 Gallium, Zinc, Oxide(1:1:1:3) 의 화합물로, 산화물 active layer를 가지는 TFT 에 주로 사용되는, 투명 산화물 반도체의 일종이다. 투명 산화물 반도체는 특성상 큰 밴드갭을 지니면서 캐리어이동도가 좋기 때문에, 가시광선 영역에서도 투명한 특성을 가지고 있다.
□ IGZO 의 특성 IGZO 는 Zinc-Oxide 화합물에 Indium 과 Gallium을 doping 한 형태의 화합물로, hexagonal 결정구조의 일종인 wurtzite 결정구조를 가지고 있다.
ZnO 화합물은 의료기기나 화학조미료 등 많은 분야에서 활용되지만, 반도체분야에서 역시 중요한 역할을 하고 있다. 3.37eV 의 밴드갭을 가지고 있으며, LED(Light Emitting Diode)에서 가장 많이 사용하고 있는데, 불순물 첨가에 따라 TCO 로 쓰일 수 있고 현재 많은 첨가물을 연구중에 있다. doping 에는 n-type doping 과 p-type doping 이 있는데, n-type doping 에는 알루미늄이나 인듐, 그리고 더 많은 아연 등이 첨가될 수 있으며, 현재 thin film technology 에 이용되고 있다. |
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