»ê¾÷±â¼ú ¿¬±¸°³¹ß¿ë ¹°Ç°¿¡ °üÇÑ °ü¼¼°¨¸é |
¿¬¹ø | HS | ǰ¸í | ±Ô°Ý | |||
6 | ºÎ½Ä¼º½ÃÇè±â ¶Ç´Â ºÎ½Ä¼ºÃøÁ¤±â |
´ÙÀ½ °¢ È£ÀÇ ¾î´À Çϳª¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù. 1. Àü±âÈÇÐÀû ÃøÁ¤ ¶Ç´Â ºÐ±Ø°î¼± ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ °ÍÀ¸·Î¼ ÃøÁ¤ Á֯ļö ¹üÀ§°¡ 10¸¶ÀÌÅ©·ÎÇ츣Ã÷(¥ì§Ô) ÀÌ»óÀÎ °Í 2. º¹ÇÕ ºÎ½Ä½ÃÇèÀÌ °¡´ÉÇÑ °ÍÀ¸·Î¼ °ÇÁ¶, ½Àµµ, ¿°¼ö, ¿Âµµ, ÀÌ»êÈź¼Ò ³óµµ, ±¤Á¶»ç(ÎÃðÎÞÒ) ¶Ç´Â °á·Î(Ì¿ÖÚ) Á¶°Ç Áß 2°¡Áö ÀÌ»óÀÇ Á¶°ÇÀ» ¼³Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í |
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7 | ¿Áøµ¿º¹ÇÕ½ÃÇè±â (Thermal & Vibration Tester) |
´ÙÀ½ °¢ È£ÀÇ ¾î´À Çϳª¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù. 1. è¹ö(Chamber) ³»ÀÇ ¿Âµµ°¡ ¼·¾¾ ¡¾3µµ ÀÌÇÏÀÎ °Í 2. »çÀÎ(Sine) ¶Ç´Â ·£´ý(Random) Áøµ¿½ÃÇèÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í |
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8 | 8421-19 |
¿ø½ÉºÐ¸®±â ¶Ç´Â ÇÍÄ¡(Pitch) ¿ø½ÉºÐ¸®±â |
´ÙÀ½ °¢ È£ÀÇ ¾î´À Çϳª¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù. 1. ¹Ì»ý¹°ÀÇ ±Õüȸ¼ö, Ç÷¾×ºÐ¸® ¹× Á¦Á¦?´Ü¹éÁú ³óÃà¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Á߷°¡¼Óµµ »ý¼ºÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 2. ȸÀü¼Óµµ¸¦ ºÐ´ç 20ȸ ´ÜÀ§·Î ¼³Á¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 3. ¼·¾¾ ¿µÇÏ 20µµ ÀÌ»ó ¿µ»ó 40µµ±îÁö 1µµ ´ÜÀ§·Î ¿Âµµ ¼³Á¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 4. ÃÖ´ë ȸÀü¼Óµµ°¡ ºÐ´ç 5¸¸ ȸÀÎ °Í 5. ½Ã°£´ç 50¸®ÅÍ(§¤)ÀÇ ¿ø½ÉºÐ¸®°¡ °¡´ÉÇÑ °Í 6. ÇÍÄ¡(Pitch)ÀÇ ºñÁߺ° ºÐ¸®, ºÒ¼ø¹° ºÐ¸®, ÇÊ¿äÇÑ Á߷°¡¼Óµµ »ý¼ºÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 7. ¼·¾¾ 20µµ ÀÌ»ó 400µµ±îÁö 1µµ ´ÜÀ§·Î ¿Âµµ¼³Á¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 8. Àü±âÀúÇ× °¡¿ ¶Ç´Â ¸ÅÁú(ØÚòõ)°¡¿¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÑ ¿ÂµµÁ¶Àý ¹æ½ÄÀÎ °Í 9. ¿¬¼ÓÀûÀÎ Çǵå(Feed) ÁÖÀÔ ¹× ½½·¯Áö(Sludge) ¹èÃâÀ» ÅëÇÑ ¿¬¼ÓÁ¶¾÷ÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 10. ½Ã°£´ç 1Åæ(ton) ÀÌ»óÀÇ ¿ø¾×󸮰¡ °¡´ÉÇÑ °Í 11. ÀÚü Á¦ÀÚ¸® ¼¼Á¤(CIP, Cleaning In Place) Á¶¾÷ÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í |
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9 | À̿¹иµÀåÄ¡(Ion Milling System) |
´ÙÀ½ °¢ È£ÀÇ ¾î´À Çϳª¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù. 1. À̿ºö(Ion Beam)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ(Wafer) ¶Ç´Â ½ÃÆí(ãËø¸)À» °¡°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í 2. °¡¼ÓÀü¾ÐÀÌ 1ų·Îº¼Æ®(kV) ÀÌ»ó 6ų·Îº¼Æ® ÀÌÇÏ ¹üÀ§¸¦ Æ÷ÇÔÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ¾Æ¸£°ï ÀÌ¿Â(Ar Ion) °Ç(Gun) ¶Ç´Â ¾Æ¸£°ï °¡½º(Ar Gas)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÀåÄ¡ÀÎ °Í 3. Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¶Ç´Â ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ ºÐ¼®À» À§ÇÑ ¹ÚÆí(ÚÝø¸) ¹× ´Ü¸é ½Ã·á Á¦ÀÛÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í |
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10 | Ç׿ÂÇ×½À±â(Ç׿±â, Ç×½À±â, Ç×½À¹è¾ç±â¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù) |
´ÙÀ½ °¢ È£ÀÇ ¾î´À Çϳª¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù. 1. ¿Âµµ Á¤µµ°¡ ¡¾2.0µµ ÀÌÇÏÀ̰ųª ½Àµµ Á¤µµ°¡ ¡¾5ÆÛ¼¾Æ®(%) ÀÌÇÏÀÎ °Í 2. ¿ÂµµºÐÆ÷°¡ ÃÖ´ë »ç¿ë¿Âµµ ¼·¾¾ 100µµ ÀÌ»ó ¶Ç´Â ÃÖ¼Ò »ç¿ë¿Âµµ°¡ ¼·¾¾ ¿µÇÏ 40µµ ÀÌÇÏÀÎ °Í 3. ¿Âµµ¹üÀ§°¡ ¼·¾¾ ¿µÇÏ 40µµ ÀÌ»ó ¼·¾¾ 180µµ ÀÌÇÏÀÎ °ÍÀ¸·Î¼ ½ÀµµÀÇ ¹üÀ§°¡ 10ÆÛ¼¾Æ®(%) ÀÌ»ó 98ÆÛ¼¾Æ®(%) ÀÌÇÏÀÎ °Í 4. 70ºÐ ³»¿¡ ¼·¾¾ ¿µÇÏ 40µµ¿¡¼ ¼·¾¾ 150µµ±îÁö ¿Âµµ¸¦ »ó½Â½Ãų ¼ö ÀÖ´Â °Í 5. 60ºÐ ³»¿¡ ¼·¾¾ 300µµ±îÁö ¿Âµµ¸¦ »ó½Â½Ãų ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î¼ ¼·¾¾ 20µµ ÀÌ»ó ¼·¾¾ 300µµ ÀÌÇÏÀÇ ¹üÀ§¿¡¼ ¿ÂµµÁ¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 6. Àü¾Ð °ø±Þ±âÀÇ ¿ë·®ÀÌ 3»ó(Phase) 200º¼Æ®(V)ÀÎ °Í |
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°ü·Ã±ÔÁ¤ |
Àû¿ë¹ý·É : °ü¼¼¹ý Á¦90Á¶(Á¦1Ç×Á¦4È£), °ü¼¼¹ý½ÃÇà±ÔÄ¢ Á¦37Á¶(Á¦3Ç×, Á¦4Ç×, Á¦5Ç×) ´ë »ó ÀÚ : 1. ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò ¶Ç´Â ¿¬±¸°³¹ß Àü´ãºÎ¼¸¦ ¼³Ä¡Çϰí Àְųª ¼³Ä¡¸¦ À§ÇÑ ½Å°í¸¦ ÇÑ ±â¾÷(±âÃÊ¿¬±¸ÁøÈï¹×±â¼ú°³¹ßÁö¿ø¿¡°üÇѹý·ü Á¦14Á¶Á¦1Ç×Á¦2È£¿¡ µû¸¥ °ÍÀÓÀ» ±³À°°úÇбâ¼úºÎÀå°ü[Çѱ¹»ê¾÷±â¼úÁøÈïÇùȸ À§Å¹]ÀÌ È®ÀÎÇÑ °Í¿¡ ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù) 2. »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ(»ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀ°¼º¹ý¿¡ ÀÇÇÑ »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀ¸·Î¼ ±â¼ú°³¹ßÀ» À§ÇÑ °øµ¿¿¬±¸½Ã¼³À» °®Ãß°í ÀÚ¿¬°èºÐ¾ßÀÇ Çлç ÀÌ»óÀÇ ÇÐÀ§¸¦ °¡Áø ¿¬±¸Àü´ã¿ä¿ø 3ÀÎ ÀÌ»óÀ» »ó½Ã È®º¸Çϰí ÀÖÀ½À» Áö½Ä°æÁ¦ºÎÀå°üÀÌ È®ÀÎÇÑ »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ¿¡ ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù) °¨¸é¹°Ç° : 1. »ê¾÷±â¼úÀÇ ¿¬±¸¡¤°³¹ß¿¡ »ç¿ëÇϱâ À§ÇÏ¿© ¼öÀÔÇÏ´Â ¹°Ç° (°ü¼¼¹ý½ÃÇà±ÔÄ¢ º°Ç¥1) 2. ½Ã¾à ¹× °ßǰ 3. ¿¬±¸¡¤°³¹ß ´ë»ó¹°Ç°À» Á¦Á¶ ¶Ç´Â ¼ö¸®Çϱâ À§ÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â ºÎºÐǰ ¹× ¿øÀç·á 4. Á¦1È£ÀÇ ¹°Ç°À» ¼ö¸®Çϱâ À§ÇÑ ¸ñÀûÀ¸·Î ¼öÀÔÇÏ´Â ºÎºÐǰ °¨ ¸é À² : 80% ³» ±¹ ¼¼ : 1. ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °¡. ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò ¶Ç´Â ¿¬±¸°³¹ß Àü´ãºÎ¼¸¦ ¼³Ä¡Çϰí ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ ¼öÀÔÇÑ »ê¾÷±â¼ú°³¹ß¿¬±¸¿ëǰ - ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °ú¼¼ ³ª. »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀÌ ¼öÀÔÇÑ »ê¾÷±â¼ú°³¹ß¿¬±¸¿ëǰ - °ü¼¼ °¨¸éºÐ¿¡ ÇÑÇÏ¿© ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °æ°¨ 2. ³ó¾îÃÌÆ¯º°¼¼ : ºñ°ú¼¼ |