°Ô½ÃÆÇ
¼¼¹ø¹®Àǵ帳´Ï´Ù.
¹°Ç°Àº GIZO TRGETÀÔ´Ï´Ù.
GIZO Target´Â LCDÁ¦Á¶¿ë À¯¸®ÆÇ¿¡ Åõ¸íÇÑ µµÀü¼º ¹°ÁúÀ» ÁõÂø½Ã۱â À§ÇÑ ¹°Ç°À¸·Î GIZO Plate¿Í Backing Plate·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, GIZO Plate´Â In2O3(Indium Oxide) 50wt%¿Í Ga2O3 35wt% ¹× ZnO(»êÈ­¾Æ¿¬) 15wt%¸¦ È¥ÇÕ,¼Ò°áÇÏ¿© Á¦Á¶ÇÑ Plate»óÀ̸ç, À̰ÍÀ» ±¸¸®·ÎµÈ ƯÁ¤Çü»óÀÇ Backing Plate¿¡ ºÎÂø½ÃŲ »óÅÂÀÇ ¹°Ç°À̸ç, º»Ç°À» ÁõÂø±â±â Chamber¿¡ °áÇÕÀ» ¿ëÀÌÇÏ°Ô Çϱâ À§ÇÏ¿© Backing Plate´Â °¡ÀåÀÚ¸®¿¡ º¼Æ®±¸¸Û°ú Ãø¸éºÎºÐÀº °è´Ü½ÄÀÇ °¡°øÀ» ÇÏ¿´À¸¸ç, ³»ºÎ¿¡´Â ³Ã°¢¼ö ¼øÈ¯¿ë Åë·Î°¡ ÀÖ´Â°Í µî Å©±â¿Í ÇüÅ´ ¿©·¯°¡Áö°¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÀϹÝÀûÀÎ Size´Â 630Wx710Lx6T(mm) Á¤µµ ÀÓ.
¹Ù»Ú½ÇÅÙµ¥ ºÎŹ Á» µå¸³´Ï´Ù.
ºñ½ÁÇÑ °áÁ¤»ç·Ê°¡ ÀÖ´Ù¸é ÇÔ²² Á» ¾Ë·ÁÁÖ½Ã¸é °¨»çÇÕ´Ï´Ù.
±×·³ ¼ö°íÇϼ¼¿ä
ÆÄ¶û»õ 2010-03-05 ¿ÀÈÄ 3:36:47
¡¡
´ñ±Û
¿î¿µÀÚ 2010-03-07 ¿ÀÈÄ 9:39:48
Á˼ÛÇÕ´Ï´Ù. ÇØ´ç ¼³¸í¸¸À¸·Î´Â ǰ¸ñºÐ·ù°¡ ¾î·Æ½À´Ï´Ù. ÀÎÅͳÝÀ¸·Î °ü·ÃÀڷḦ °Ë»öÇÏ¿© º¸¾ÒÀ¸³ª ãÁö ¸øÇÑ °ü°è·Î ´äº¯À» µå¸®±â°¡ ¾î·Æ½À´Ï´Ù. ¸àÆ®¼öÁ¤ ¸àÆ®»èÁ¦