¹°Ç°Àº GIZO TRGETÀÔ´Ï´Ù. GIZO Target´Â LCDÁ¦Á¶¿ë À¯¸®ÆÇ¿¡ Åõ¸íÇÑ µµÀü¼º ¹°ÁúÀ» ÁõÂø½Ã۱â À§ÇÑ ¹°Ç°À¸·Î GIZO Plate¿Í Backing Plate·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, GIZO Plate´Â In2O3(Indium Oxide) 50wt%¿Í Ga2O3 35wt% ¹× ZnO(»êȾƿ¬) 15wt%¸¦ È¥ÇÕ,¼Ò°áÇÏ¿© Á¦Á¶ÇÑ Plate»óÀ̸ç, À̰ÍÀ» ±¸¸®·ÎµÈ ƯÁ¤Çü»óÀÇ Backing Plate¿¡ ºÎÂø½ÃŲ »óÅÂÀÇ ¹°Ç°À̸ç, º»Ç°À» ÁõÂø±â±â Chamber¿¡ °áÇÕÀ» ¿ëÀÌÇÏ°Ô Çϱâ À§ÇÏ¿© Backing Plate´Â °¡ÀåÀÚ¸®¿¡ º¼Æ®±¸¸Û°ú Ãø¸éºÎºÐÀº °è´Ü½ÄÀÇ °¡°øÀ» ÇÏ¿´À¸¸ç, ³»ºÎ¿¡´Â ³Ã°¢¼ö ¼øÈ¯¿ë Åë·Î°¡ ÀÖ´Â°Í µî Å©±â¿Í ÇüÅ´ ¿©·¯°¡Áö°¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÀϹÝÀûÀÎ Size´Â 630Wx710Lx6T(mm) Á¤µµ ÀÓ. ¹Ù»Ú½ÇÅÙµ¥ ºÎŹ Á» µå¸³´Ï´Ù. ºñ½ÁÇÑ °áÁ¤»ç·Ê°¡ ÀÖ´Ù¸é ÇÔ²² Á» ¾Ë·ÁÁÖ½Ã¸é °¨»çÇÕ´Ï´Ù. ±×·³ ¼ö°íÇϼ¼¿ä
|
|