펌프
다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 것으로 한정한다.
1. 고분자 중합용 다이아프램 펌프(Diaphragm Pump)로서 작동가능 온도가 영하 50도(℃)부터 영상 150도까지이고 작동가능 압력이 35메가파스칼(㎫) 이하인 것
2. 평판디스플레이 제조용 터보 몰레큘러펌프(Turbo molecular Pump)로서 진공도(Torr)가 10-3 이하인 것
8419-89
냉각기
영하 35도(℃) 이하로 냉각 또는 냉동할 수 있는 것
8419-89
반응기(Reactor)
반응온도가 75도(℃)부터 350도까지로서, 내부압력이 감압상태인 0.001바(bar)부터 가압상태인 120바 이내의 조건에서 중합물을 제조할 수 있는 1리터(L) 이상 용량의 것
8419-89
열충격시험기(Temperature Shock Test Chamber)
평판디스플레이, 인쇄회로기판, 반도체소자 또는 반도체모듈의 성능을 시험하는 것으로서, 설정 가능한 최고온도가 영상 100도(℃) 이상이고 최저 온도가 영하 40도 이하인 것
부식성시험기 또는 복합사이클부식시험기
측정 대상물의 부식 정도를 시험할 수 있는 것으로서 건조, 습도, 염수, 온도, 이산화탄소 농도, 광 조사(光照射) 또는 결로(結露) 중 두 가지 이상의 시험 조건을 설정할 수 있는 것
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