»ê¾÷±â¼ú ¿¬±¸°³¹ß¿ë ¹°Ç°¿¡ °üÇÑ °ü¼¼°¨¸é |
¿¬¹ø | HS | Ç°¸í | ±Ô°Ý | |||
36 | 8479-89 |
´ÙÀÌ(Die) ºÎÂø±â |
½ºÅ×ÀÌÁö(Stage)¿Í Çìµå(Head)ÀÇ ¿Âµµ¸¦ Á¦¾îÇÏ¿© Ĩ(Die)À» ±âÆÇ(Core)¿¡ ºÎÂøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í |
|||
37 | 8479-89 |
¹Ù·¼Çü ÁõÂø±â(Barrel Sputter) |
ÁõÂøÇÏ·Á´Â Àç·áÀÇ ¼ö°¡ 2°³ ÀÌ»óÀ̸ç, Àüµµ¼º ¶Ç´Â Àý¿¬Ã¼ Àç·á¿¡ ÁõÂøÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í |
|||
38 | Á¦Áø´ë(ð¶òèÓæ) ¶Ç´Â ÀÚµ¿Á¦Áø½Ã½ºÅÛ |
°Ç¹° Áøµ¿À» Á¦¾îÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î¼ ¾×Ƽºê ŸÀÔ(Active Type)ÀÎ °Í |
||||
39 | Àú¿ÂÇÊÅÍ ¸·ÈûÁ¡ ½ÃÇè±â |
°æÀ¯ÀÇ Àú¿ÂÇÊÅÍ ¸·ÈûÁ¡ Æò°¡¿ëÀ¸·Î ¹Ì±¹Àç·á½ÃÇèÇùȸ(American Society for Testing and Materials)ÀÇ °æÀ¯Àú¿ÂÇÊÅ͸·ÈûÁ¡½ÃÇè¹ý(D6371)ÀÇ ½ÃÇèÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í |
||||
40 | ¿¬·áÀüÁö Æò°¡Àåºñ |
ÃÖ´ëÃâ·ÂÀÌ 10ų·Î¿ÍÆ®(§Ò) ÀÌ»ó 100ų·Î¿ÍÆ® ÀÌÇÏÀÎ ¿¬·áÀüÁöÀÇ ½ºÅÃ(Stack)À» Æò°¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í |
||||
|
°ü·Ã±ÔÁ¤ |
A. Àû¿ë¹ý·É ¡¡ B. ´ë»óÀÚ 1. ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò ¶Ç´Â ¿¬±¸°³¹ß Àü´ãºÎ¼¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ°í Àְųª ¼³Ä¡¸¦ À§ÇÑ ½Å°í¸¦ ÇÑ ±â¾÷(±âÃÊ¿¬±¸ÁøÈï¹×±â¼ú°³¹ßÁö¿ø¿¡°üÇѹý·ü Á¦14Á¶Á¦1Ç×Á¦2È£¿¡ µû¸¥ °ÍÀÓÀ» ±³À°°úÇбâ¼úºÎÀå°ü[Çѱ¹»ê¾÷±â¼úÁøÈïÇùȸ À§Å¹]ÀÌ È®ÀÎÇÑ °Í¿¡ ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù) 2. »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ(»ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀ°¼º¹ý¿¡ ÀÇÇÑ »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀ¸·Î¼ ±â¼ú°³¹ßÀ» À§ÇÑ °øµ¿¿¬±¸½Ã¼³À» °®Ãß°í ÀÚ¿¬°èºÐ¾ßÀÇ Çлç ÀÌ»óÀÇ ÇÐÀ§¸¦ °¡Áø ¿¬±¸Àü´ã¿ä¿ø 3ÀÎ ÀÌ»óÀ» »ó½Ã È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ½À» Áö½Ä°æÁ¦ºÎÀå°üÀÌ È®ÀÎÇÑ »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ¿¡ ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù) ¡¡ C. °¨¸é¹°Ç° 1. »ê¾÷±â¼úÀÇ ¿¬±¸¡¤°³¹ß¿¡ »ç¿ëÇϱâ À§ÇÏ¿© ¼öÀÔÇÏ´Â ¹°Ç° (°ü¼¼¹ý½ÃÇà±ÔÄ¢ º°Ç¥1) 2. ½Ã¾à ¹× °ßÇ° 3. ¿¬±¸¡¤°³¹ß ´ë»ó¹°Ç°À» Á¦Á¶ ¶Ç´Â ¼ö¸®Çϱâ À§ÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â ºÎºÐÇ° ¹× ¿øÀç·á 4. Á¦1È£ÀÇ ¹°Ç°À» ¼ö¸®Çϱâ À§ÇÑ ¸ñÀûÀ¸·Î ¼öÀÔÇÏ´Â ºÎºÐÇ° ¡¡ D. °¨¸éÀ² : 80% ¡¡ E. ³»±¹¼¼ 1. ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °¡. ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò ¶Ç´Â ¿¬±¸°³¹ß Àü´ãºÎ¼¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ ¼öÀÔÇÑ »ê¾÷±â¼ú°³¹ß¿¬±¸¿ëÇ° - ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °ú¼¼ ³ª. »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀÌ ¼öÀÔÇÑ »ê¾÷±â¼ú°³¹ß¿¬±¸¿ëÇ° - °ü¼¼ °¨¸éºÐ¿¡ ÇÑÇÏ¿© ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °æ°¨ 2. ³ó¾îÃÌƯº°¼¼ : ºñ°ú¼¼ |