»ê¾÷±â¼ú ¿¬±¸°³¹ß¿ë ¹°Ç°¿¡ °üÇÑ °ü¼¼°¨¸é |
¿¬¹ø | HS | Ç°¸í | ±Ô°Ý | |||
26 | 8477-80 |
ŸÀÌ¾î ¹öÇÎ(Buffing)±â |
ŸÀ̾ °íÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Áö±×(Jig)¿Í ¹öÇÎ(Buffing)¿ë »÷µåÆäÀÌÆÛ°¡ ¼³Ä¡µÇ¾î ÀÖ°í, °í¹« ºÐÁøÀ» ¸ðÀ» ¼ö ÀÖ´Â ÁýÁø±â°¡ ÀÖ´Â °Í |
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27 | µ¿ÀÛÁ¦¾î±â(Motion Controller) |
¼º¸(Servo) ¸ðÅ͸¦ ±¸µ¿ÇÏ¿© 3Ãà ÀÌ»óÀÇ ·Îº¿µ¿ÀÛÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í |
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28 | ¼¼Ã´±â ¶Ç´Â ¼¼Á¤±â |
¿þÀÌÆÛ, ½ÃÆí(ãËø¸), ¸¶½ºÅ©, ¸¶½ºÅ©¿ë±â, ·¹Æ¼Å¬(Reticle), ·¹Æ¼Å¬ ¿ë±â, ¹ÝµµÃ¼, À¯±â¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå±âÆÇ, Àý»è°ø±¸·ù Ç¥¸éÀÇ »êȸ·, À¯±â¹°, ¿þÀÌÆÛ Ä«¼¼Æ®(Wafer Cassette), ¿þÀÌÆÛ ÇÁ·¹ÀÓ(Wafer Frame) ¶Ç´Â Àμâȸ·Î±âÆÇÀ», È°ø¾àÇ°, ÃÊÀ½ÆÄ, Çö󽺸¶(Plasma), Àڿܼ±, ±ú²ýÇÑ ¹°, ½ºÇÁ·¹ÀÌ, ¹ÝÀÀ°¡½º(Ar, O2, H2) ¶Ç´Â Áõ±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼¼Ã´ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í |
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29 | µµ±Ý±â, µµÆ÷±â(Coater) ¶Ç´Â ÄÚÆøӽÅ(Coating Machine) |
´ÙÀ½ °¢ È£ÀÇ ¾î´À Çϳª¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù. 1. ÀÚµ¿Â÷ ÇǽºÅ渵(Piston Ring)¿¡ ´ÙÀ̾Ƹóµå-¶óÀÌÅ© Ä«º»(DLC, Diamond Like Carbon) ¶Ç´Â 4¸éü ºñÁ¤Áú ź¼Ò(TAC, Tetrahedral Amorphous Carbon)¸¦ ÄÚÆÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í 2. ·Îµå(Rod) Áõ¹ß¿øÀ» žÀçÇÏ¿© ¾ÆÅ© ½ºÆÌ(Arc Spot)ÀÇ À§Ä¡¿Í ¸· µÎ²²ÀÇ ºÐÆ÷¸¦ ÀÚµ¿À¸·Î Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í 3. µð½ºÆæ¼(Dispenser) ¹æ½Ä(ÆÐÅÏÇü¼º±â´ÉÀ» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù), ÀüÀÚºö(Electron Beam) ¹æ½Ä, ȸÀü ¹æ½Ä, À̿ºö(Ion Beam) ¹æ½Ä, ½ºÇÁ·¹ÀÌÄÚÅÍ(Spray Coater) ¹æ½Ä ¶Ç´Â ½½·Ô´ÙÀÌ(Slot-die) ¹æ½Ä ¶Ç´Â ´ã±Ý(Dipping) ¹æ½ÄÀÎ °Í 4. ÀÚµ¿Â÷ ÇǽºÅ渵(PistonRing)ÀÌ °íÂø(Sticking)µÇ´Â Çö»óÀ» ¹æÁöÇÏ´Â ÄÚÆÃ(RNS-M, Anti-sticking Coating)À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í 5. 0.4¹Ð¸®¹ÌÅÍ(§®) ÀÌ»ó 1¹Ð¸®¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ µÎ²²·Î Ä÷¯(Color) ÄÚÆÃÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í 6. 2°³ ÀÌ»óÀÇ Àç·á¸¦ ¸ÖƼ ÄÚÆÃ(multi layer coating)ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °Í 7. °¡·Î 415¹Ð¸®¹ÌÅÍ ¡¿ ¼¼·Î 510¹Ð¸®¹ÌÅÍ, °¡·Î 400¹Ð¸®¹ÌÅÍ ¡¿ ¼¼·Î 500¹Ð¸®¹ÌÅÍ Å©±âÀÇ Àμâȸ·Î±âÆÇ¿¡ Àü±âµ¿ÀÇ µµ±ÝÀÌ °¡´ÉÇÑ °Í |
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30 | 8479-82 |
È¥ÇÕ±â |
½ÇÇè¿ë ¼ÒÇü ºÐ¼âÈ¥ÇÕ±â·Î¼ È¥ÇÕ°ú ºÐ¼â ±â´ÉÀÌ ÀÖ´Â °Í |
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°ü·Ã±ÔÁ¤ |
A. Àû¿ë¹ý·É ¡¡ B. ´ë»óÀÚ 1. ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò ¶Ç´Â ¿¬±¸°³¹ß Àü´ãºÎ¼¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ°í Àְųª ¼³Ä¡¸¦ À§ÇÑ ½Å°í¸¦ ÇÑ ±â¾÷(±âÃÊ¿¬±¸ÁøÈï¹×±â¼ú°³¹ßÁö¿ø¿¡°üÇѹý·ü Á¦14Á¶Á¦1Ç×Á¦2È£¿¡ µû¸¥ °ÍÀÓÀ» ±³À°°úÇбâ¼úºÎÀå°ü[Çѱ¹»ê¾÷±â¼úÁøÈïÇùȸ À§Å¹]ÀÌ È®ÀÎÇÑ °Í¿¡ ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù) 2. »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ(»ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀ°¼º¹ý¿¡ ÀÇÇÑ »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀ¸·Î¼ ±â¼ú°³¹ßÀ» À§ÇÑ °øµ¿¿¬±¸½Ã¼³À» °®Ãß°í ÀÚ¿¬°èºÐ¾ßÀÇ Çлç ÀÌ»óÀÇ ÇÐÀ§¸¦ °¡Áø ¿¬±¸Àü´ã¿ä¿ø 3ÀÎ ÀÌ»óÀ» »ó½Ã È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ½À» Áö½Ä°æÁ¦ºÎÀå°üÀÌ È®ÀÎÇÑ »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ¿¡ ÇÑÁ¤ÇÑ´Ù) ¡¡ C. °¨¸é¹°Ç° 1. »ê¾÷±â¼úÀÇ ¿¬±¸¡¤°³¹ß¿¡ »ç¿ëÇϱâ À§ÇÏ¿© ¼öÀÔÇÏ´Â ¹°Ç° (°ü¼¼¹ý½ÃÇà±ÔÄ¢ º°Ç¥1) 2. ½Ã¾à ¹× °ßÇ° 3. ¿¬±¸¡¤°³¹ß ´ë»ó¹°Ç°À» Á¦Á¶ ¶Ç´Â ¼ö¸®Çϱâ À§ÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â ºÎºÐÇ° ¹× ¿øÀç·á 4. Á¦1È£ÀÇ ¹°Ç°À» ¼ö¸®Çϱâ À§ÇÑ ¸ñÀûÀ¸·Î ¼öÀÔÇÏ´Â ºÎºÐÇ° ¡¡ D. °¨¸éÀ² : 80% ¡¡ E. ³»±¹¼¼ 1. ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °¡. ±â¾÷ºÎ¼³ ¿¬±¸¼Ò ¶Ç´Â ¿¬±¸°³¹ß Àü´ãºÎ¼¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ ¼öÀÔÇÑ »ê¾÷±â¼ú°³¹ß¿¬±¸¿ëÇ° - ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °ú¼¼ ³ª. »ê¾÷±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕÀÌ ¼öÀÔÇÑ »ê¾÷±â¼ú°³¹ß¿¬±¸¿ëÇ° - °ü¼¼ °¨¸éºÐ¿¡ ÇÑÇÏ¿© ºÎ°¡°¡Ä¡¼¼ °æ°¨ 2. ³ó¾îÃÌƯº°¼¼ : ºñ°ú¼¼ |