9031-49
응력(應力) 측정기
인쇄회로기판에 접착된 박막·납볼·와이어, 반도체칩(Chip), 반도체소자 또는 평판디스플레이 부품의 응력(應力)을 통하여 탄성율(modulus)을 측정할 수 있는 것
9031-49
자동 광학 검사기(Automatic Optical Inspection)
415밀리미터(㎜) × 510밀리미터 이내 크기의 인쇄회로기판 또는 포토레지스트(Photo resist, PR)의 검사가 가능한 것
3차원측정기(비접촉 3차원 측정기를 포함한다), 3차원스캐너, 형상측정기, 진원도측정기 또는 균형측정기
다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 것으로 한정한다.
1. 레이저를 이용한 방식으로서 측정 대상물의 형상측정분해능력이 1마이크로미터(㎛) 이상인 것
2. 비전 스캐닝(Vision Scanning)방식 또는 광학(Optical)계측방식을 이용하여 측정 후 그 결과를 3차원 또는 2차원으로 나타낼 수 있는 것
3. 엑스(X)·와이(Y)·제트(Z) 축의 측정범위가 모두 각각 2,000밀리미터(㎜) 이상이거나, 탐침자(Probe)의 이송속도가 초당 100밀리미터 이상인 것
4. 리니어 엔코더(Linear Encoder)방식으로 분해능력이 0.01마이크로미터 이상인 것
5. 가로 및 세로의 길이가 각각 450나노미터(㎚)이고 높이가 200나노미터인 물체를 측정할 수 있는 것
6. 자동 포커스(Auto Focus) 기능을 가진 것
7. 측정 정도 또는 분해능(Resolution)이 ±1마이크로미터 이하인 것
8. 자동차 엔진부품의 형상측정용으로서 분해능이 0.1마이크로미터까지 가능하며 표시정확도의 오차범위가 ±1.81마이크로미터 이하인 것
9. 평행도 측정을 위해 0.02밀리미터이하의 분해능이 가능한 것
9031-80
공기 유량계
자동차 엔진 연구용으로서 엔진 내 흡기 및 배기 유량 데이터를 컴퓨터 제어 방식으로 수집이 가능한 것
9031-80
입자(Particle) 수 측정기
0.3마이크로미터(㎛) 이상의 입자를 측정할 수 있는것
| ▌[1]... ◀ [11][12][13][14][15][16][17][18]19[20] ▶ ...[25]▐ |
 |