저항 측정기 또는 제베크(Seebeck)계수 측정기
다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 것으로 한정한다.
1. 반도체(복합구조칩을 포함한다), 평판디스플레이 또는 이차전지 연구용으로서, 웨이퍼박막, 글래스기판박막, 필름 또는 분체(粉體)의 저항을 측정할 수 있는 것
2. 스트레스전압의 범위가 100볼트(V) 이상 1,100볼트 이하인 것
3. 시료에 전자빔을 조사(照射)하여 전류를 증폭시켜 비접촉식으로 저항을 분석할 수 있는 것
네트워크분석기 또는 회로망분석기
다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 것으로 한정한다.
1. 100메가헤르츠(㎒) 이상의 주파수를 측정할 수 있는 것
2. 동축케이블 연구용으로서 100메가헤르츠 이상의 고주파 대역에서 선로의 전기적 특성을 측정할 수 있는 것
3. 고주파를 반도체소자에 흐르게하여 소자의 주파수 특성 및 임피던스(Impedance)를 분석할 수 있는 것
주파수 측정기 또는 주파수 분석기
1메가헤르츠(㎒) 이상의 주파수를 측정할 수 있는 것
전자파측정기(SAR Scanning System)
1기가헤르츠(㎓) 이상의 주파수를 측정할 수 있는 것
반도체소자측정기 또는 소스미터(Source Meter)
다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 것으로 한정한다.
1. 평판디스플레이 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) 소자의 전기적 특성을 측정하거나 전기적 신호를 전달할 수 있는 것
2. 전압과 전류의 측정 또는 분석이 가능한 것으로서 기본 정밀도가 0.015퍼센트(%) 이상인 것
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